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真空抽气机组需要配置贮气罐,原因有四
发布时间:2018-07-17   点击次数:439次
     真空抽气机组主要用于抽出容器内的气体,使容器能达到高的真空度要求,同时可用于真空干燥。特别适用于用于变电工业、供电局、电厂、变压器制造厂的抽真空用。此外,还可用于真空冶炼、焊接、化工制药、真空镀膜、电子元器件等行业的抽真空。不适用于抽除含氧过高、有毒、有爆炸性、含水分重、对金属材料有腐蚀作用、对真空泵油起化学反应的气体。
    真空抽气机组通常配置有贮气罐, 设置在扩散泵和前级泵之间, 贮存扩散泵排出的气体, 设置贮气罐的原因有:
    1、系统防震的需要
      真空系统工作时,某些工艺过程要求严格防震,因此需要在真空室处在工作状态中时,前级机械真空泵在一段时间内停止工作。在这段时间内,扩散泵排出的气体全都贮存在贮气罐中, 用贮气罐代替机械泵维持扩散泵的正常工作。
 
    2、为了缩短工作周期
      有些生产工艺要求在不关闭扩散泵加热器的情况下,真空室放进大气换取元件、装料。而真空机组的前级泵兼做预抽泵用。装料后,用机械泵预抽真空室,在这段时间内利用贮气罐来维持扩散泵工作(作为前级泵用)。
 
    3、为防止真空室内瞬时大量放气影响
      扩散泵正常工作真空工艺生产中的某段时间内放气量特别大,但时间短。若按此时的最大排气量配前级机械泵很不经济,此时可在系统中配置前级贮气罐,在最大放气量时贮存一部分气体,以避免扩散泵的前级压力超过最大反压力。
 
    4、用于稳定扩散泵出口压力
      由于机械真空泵的排气是脉冲的,虽然频率不高(一般为7次/s左右),但是也会引起扩散泵出口压力的波动,设置贮气罐可减少这种波动

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